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wiegen nach Kilo
Jenaer Firma avanciert zum Komplettanbieter optischer Materialien für die Chipherstellung Von Peter Liebers, Jena
Die Kristalle sind das Ausgangsmaterial für die Linsen in Belichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie und die Grundvoraussetzung für die Produktion der nächsten Chip-Generation. Deren hoher Integrationsgrad erfordert zum Übertragen feinster Strukturen den Einsatz extrem kurzwelligen Lichtes, für das die Beständigkeit der heute verwendeten Quarzgläser nicht mehr ausreicht. Die ersten Pilotlinien...
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